Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。还提供自定义流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

HAF系列可以对0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 的温度范围做出补偿，并且可以在 -20 °C 至 70 °C [-4 °F 至 158 °F] 的温度范围中工作。先进的基于 ASIC 的补偿能够实现数字 (I2C) 输出和 1 毫秒的响应时间。

这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

Zephyr 传感器可以为客户提供增强的可靠性、高准确度、可重复测量等性能，并且能够定制传感器以满足许多具体的应用要求。坚固外壳和稳定基底相结合使得这些产品极其坚固耐用。它们的设计与制造符合 ISO 9001 标准。